4. Thermische Desorptionsspektroskopie (TDS)
Zur Durchfürung der TDS-Messungen wurde die Probe ca. 100mm unter die Eintritts-öffnung des Massenspektrometers gefahren. Mit einer Blende, die ein Fenster mit einem Radius von 4mm in 1mm Entfernung zur Kristalloberfläche öffnete, wurde garantiert, daß nur ein definierter, zentraler Teil der Probenoberfläche untersucht wurde.
Das Massenspektrometer wurde auf die Masse des häufigeren Kupferisotopes 63Cu abgeglichen und das Spektrometersignal sowie der Thermospannungswert (Probentem-peratur) direkt in einen Rechner (PC) eingelesen. Je nach Meßmodus ist aus 20 bis 60 Meßwerten ein Mittelwert gebildet worden, so daß ein resultierendes Spektrum aus rund eintausend Meßpunkten bestand.
Die lineare Heizrampe sowie die Aufdampftemperatur wurden ebenfalls mit dem Rechner gesteuert. Die am meisten verwendete Heizrate war 7,7K/s, ein Wert, der ein Optimum in bezug auf die Auflösung und Intensität (bzw. Intensität-Rausch-Verhältnis) darstellt. Der gesamte verwendete Heizratenbereich erstreckte sich von 2 bis 30K/s.
Die genauen experimentellen Daten können Tab. 3 entnommen werden.
Tabelle 3 Experimentelle Daten der Thermodesorptionsspektren