5. Augerelektronenspektroskopie (AES)
Die für die Aufnahme der Augerspektren notwendigen Primärelektronen hatten eine Energie von 2,8keV und wurden aus einem Winkel von 30° auf die Probe geschossen. Dies geschah zur Erhöhung der Oberflächenempfindlichkeit (vgl. I.3.2).
Aufgefangen wurden die Augerelektronen vom CHA, der sich ca. 100mm senkrecht über der Probe befand. Dieser wurde in einem Modus betrieben, in dem die Bremsspannung und die Hemisphärenspannung in einem konstanten Verhältnis zueinander standen. Die Modulationsfrequenz betrug 1kHz, mit einer Spitzenspannung von 10V.
Die Methode der Augerelektronenspektroskopie mittels CHA wurde an dem benutzten UHV-System völlig neu etabliert. Da bei der Signalübertragung vom CHA zum Ratemeter ein nicht unerhebliches Maß an Störsignalen eingefangen wurde, mußte ein Meßvorverstärker gebaut werden, der direkt am Ausgang des Elektronenvervielfachers angeschlossen wurde.
Dabei wurde auf die kommerzielle Auskoppeleinheit zurückgegriffen, die mit einer einfachen Verstärker- (oder besser Impedanzwandler-) Schaltung kombiniert wurde. Auf einer selbst entwickelten Platine wurde die Einheit komplett im Gehäuse der Auskoppeleinheit untergebracht. Das Blockschaltbild ist in Abb.28 dargestellt.
Abbildung 28 Blockschaltbild des Meßvorverstärkers für die Augerelektronenspektroskopie
Untersucht wurde im ersten Experiment der N5O3O3-Übergang des Rheniums bei 176eV und der L3M4,5M4,5-Übergang des Kupfers bei 920eV, im zweiten Experiment der N6,7O4,5O4,5-Übergang des Re bei 33eV und der M5N1N2,3-Übergang des Kupfers bei 60eV [CHA71].
Es sind jeweils bei 150°C die Intensitäten der Peaks im differenzierten Spektrum gemessen worden. Nach jeder Messung wurde zur Kontrolle der Bedeckung ein Thermodesorptionsspektrum aufgenommen.