diplom

Energetik und Kinetik des Systems Cu/Re(0001) - Diplomarbeit von Ronald Wagner

Inhaltsverzeichnis

Formelzeichen

Einleitung

Teil I - Theoretische Grundlagen

1. Das Meßsystem

1.1 Die Metalle Rhenium und Kupfer

1.1.1 Allgemeines

1.1.2 Thermodynamische Daten

1.1.3 Kristallographische Daten

1.1.4 Das System Kupfer-Rhenium

1.2 Die Re(0001)-Oberfläche

2. Behandlung von Oberflächenphänomenen

2.1 2D-Wechselwirkungen

2.1.1 Das Teilchen auf der Oberfläche

2.1.2 Theorie des Übergangszustandes (TST) / Theorie der absoluten Rate (ART)

2.1.3 Das Modell des zweidimesionalen Gases

2.1.4 2D-Morphologie

2.2 3D-Wachstum

3. Meßmethoden

3.1 Thermische Desorptionsspektroskopie (TDS)

3.1.1 Allgemeines

3.1.2 Spektren mit mehreren Zuständen

3.1.3 Logarithmische Darstellung der Rate als Funktion der Bedeckung

3.1.4 Auswertungsverfahren nach Polanyi

3.1.5 Auswertungsverfahren nach Redhead [RED62]

3.1.6 Heizratenvariation

3.1.7 Auswertungsverfahren nach King [KIN75]

3.1.8 Auswertungsverfahren nach Bauer [BAU75]

3.1.9 Auswertungsverfahren nach Habenschaden und Küppers [HAB83]

3.1.10 Weitere Effekte

3.2 Augerelektronenspektroskopie (AES)

3.2.1 Allgemeines

3.2.2 Der Augerprozeß

3.2.3 Messung der Energieverteilung der Elektronen - Das direkte Spektrum

3.2.4 Das differenzierte Spektrum

3.2.5 Quantitative Messung

3.2.6 Auswertungsmethoden

3.2.7 AES Informationstiefe

Teil II - Durchführung der Messungen

1. Das UHV-System

2. Die Probe

2.1 Die Probenhalterung

2.2 Die Heizung

2.3 Konstruktion eines Linear-z-Hubes

2.4 Probenpräparation

3. Abscheidung von Kupfer

3.1 Abscheidungscharakteristik

3.2 Konstruktion einer Knudsenzelle

4. Thermische Desorptionsspektroskopie (TDS)

5. Augerelektronenspektroskopie (AES)

Teil III - Auswertung der Meßdaten und Diskussion der Ergebnisse

1. Auswertung der Thermodesorptionsspektren

1.1 Aufbereitung der Meßdaten

1.1.1 Bearbeitung der Rohspektren

1.1.2 Monolageneichung

1.2 Kurvenformanalyse

1.3 Untersuchung der Desorptionsordnung

1.3.1 TDS-Serienanalyse

1.3.2 ‘Orderplots’

1.4 Untersuchung der Desorptionsenergie und des Frequenzfaktors

1.4.1 Methode nach Redhead

1.4.2 Heizratenvariation

1.4.3 Methode nach Bauer

1.4.4 Methode nach King

1.4.5 Methode nach Habenschaden und Küppers

1.4.6 Gemeinsame Betrachtung der Auswertungsmethoden

2. Auswertung der Augerelektronenspektren

2.1 Die Übergänge Re (176eV) und Kupfer (920eV)

2.2 Die Übergänge Re (33eV) und Kupfer (60eV)

2.3 Die mittlere freie Weglänge der Augerelektronen

3. Weiterführende Untersuchungen

3.1 Schlußfolgerungen für die Desorptionsentropie

3.2 Mikroskopische Betrachtungen

3.2.1 Das Modell des zweidimensionalen Gases

3.2.2 Das Phasendiagramm

3.2.3 Weitere Parameter

3.2.4 Kinetik der Desorption

Teil IV - Zusammenfassung der Ergebnisse

Anhang

Vergleich der Meß- und Literaturwerte

Die wichtigsten Formeln

Literaturverzeichnis